ナノ?先端材料
透過型電子顕微鏡（TEM）
透過型電子顕微鏡(ＴＥＭ、日立ＨＦ-3300)は薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、超高倍率で観察する手法です。分解能は0 . 1 ～0.2nmと非常に高く、物質の分子?原子レベルの微細構造を観察することができます。
走査型電子顕微鏡（SEM）
真空中で細く絞った電子線で試料表面を走査し、試料から出てくる電子を検出し、試料表面の拡大像を得る装置です。試料の高倍率での表面形態観察のほか、特性X線を利用した元素分析もできます。
走査型プローブ顕微鏡（SPM）
微小な深針(プローブ)を試料表面に近づけて、試料と探針間に働く力学的?電磁気的相互作用を検出しながら走査し、試料表面を三次元的に観察する顕微鏡です。ナノスケールでの試料表面の情報(凹凸、摩擦力、導電性、磁性等)を得ることができます。
電子線マイクロアナライザ（EPMA）
真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、発生する特性X線を計測、元素分析（ミクロンオーダー）を行う装置です。金属?セラミックス材料、半導体材料をはじめ、高分子材料や、食品、生体試料など、あらゆる固体試料の微小部分析に欠かせない装置。
3Dデジタルマイクロスコープ
試料表面のカラー写真撮影、動画撮影、3Ｄ合成表示、寸法測定や面積計測などの機能を持っています(キーエンスVHX-2000)。高倍率で鮮明に試料表面の観察?記録ができ、その形状を3Dイメージで表示させ、各種形状データ(寸法、粗さ、面積、体積など)の情報を得ることが可能です。
超深度マルチアングル顕微鏡
光学顕微鏡の機能に加え、電子線をもちいて試料観察を行うため、光学顕微鏡に比べて高倍率?高分解能で観察することができる顕微鏡です(キーエンスVHX-D500)。また、照射角度を変えられるマルチアングル顕微鏡のため、超深度の高解像度画像を立体カラーで撮影することも可能です。
表面改質イオン注入装置（IBED）
10ｋVのマイクロ波イオンビーム源と、2kWEB蒸着装置を備えており、同時あるいは交差動作により表層改質、製膜を行うことができます。試料は最大100mm角に対応しており角度調整が可能です。
X線光電子分光装置（XPS）
X線により誘起された光電子のエネルギー分析を行うことにより、その材料表面の組成や化学的結合状態を三次元的に評価することができます。本装置では空間分解能が数～10μmとこれまでこの手法では難しかった極めて微細な領域も解析することが可能となっているばかりでなく、電子やイオンビームの照射により中和機構が充実し、絶縁体材料の測定が可能となり、あらゆる材料について実際に分析できるようになりました。
ゼータ電位測定装置
多くの微粒子は溶液中で自身の表面電荷によって、対イオンや界面活性物質などを引き寄せて電気二重層を生じています。ゼータ電位計は電気二重層すべり面の電位(ゼータ電位)を、電極を使用した電圧印加による電気泳道速度から求めることができます。ゼータ電位の情報は懸濁液やエマルジョンの状態(分散性、凝集性)や、粒子の吸着性をコントロールするのに役立ちます。
波長分散型蛍光X線分光装置
蛍光X線分析法は、試料の前処理が簡単で隣り合う元素の近傍スペクトルも確実に分離できます。この波長分散型蛍光X線分析装置は、測定径500μmでB（原子番号5）～U（原子番号92）の元素範囲を定性、定量分析が行えます。また、ソフトウェアも充実しており、初心者でも簡単に測定できます。
エネルギー分散型蛍光X線分析装置
試料にＸ線を照射して発生する蛍光X線のエネルギー（波長）や強度を解析することにより試料を構成する元素の種類や含有量を調べる装置です。非破壊で固体，粉体，液体などの元素分析ができ、岩石鉱物、金属素材、陶磁器、紙、工場廃液、オイルなど広範な試料をそのまま測定できます。